小型探针台 CS-4-北京神州新元科技有限公司

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小型探针台 CS-4

特点/应用

◆ 满足I-V/C-V，PIV测试，光电测试等

◆ *大可用于6英寸以内样品测试

◆ 同轴丝杠传动结构，线性移动

◆ 可放置于手套箱内使用

◆ 形状轻巧，操作方便，价格实惠。

技术指标

• 4"卡盘，采用中心吸附孔和3圈吸附环固定样品，分别由3个开关独立控制

• 卡盘X-Y的移动范围4''X4''，移动精度：10微米

• 卡盘可以360度旋转，细调精度不大于0.1度，带有锁定旋钮

• 卡盘可以升降，行程8mm，微调精度1um，带锁死装置

• Chuck可以附加独立的校准片载台，以符合未来扩展射频量测的需求。

• 显微镜环绕立柱旋转式设计，便于快速移动显微镜，显微镜移动范围覆盖样品台

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