中端探针台 CL-6-北京神州新元科技有限公司

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中端探针台 CL-6

特点 / 应用

◆ 满足I-V/C-V，PIV测试，光电测试等.

◆ *大可用于8英寸以内样品测试

◆ 同轴丝杠传动结构，线性移动

◆ 兼容高倍率金相显微镜，可微调移动

◆ 可升级做射频，大电流方面的测试和激光修复应用

技术指标

• 6"卡盘，采用中心吸附孔和多圈吸附环固定样品，均独立控制，中心吸附孔*小可以选择250微米

• 卡盘平整度:5µm,标准卡盘可360度无间隙旋转

• 卡盘X/Y轴无间隙移动，行程：6英寸X6英寸，移动精度：5um，并带锁死装置

• 平台快速升降行程8mm，微调精度1um并带自动锁定功能

• 可调节显微镜在X-Y平面2"x2"范围内移动,精度1微米（系统不包含显微镜）

• 可调节显微镜快速倾仰,便于更换物镜，带自动锁定功能

• 平台可升降调节适合加装探针卡，便于针卡重定位

• 台体不含显微镜

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