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探针台

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探针台CH-8

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特点/应用

◆ *大可用于8英寸以内样品测试

◆ 同轴丝杠传动结构,线性移动

◆ 大手柄驱动,操作舒适,无回程差设计

◆ 针座平台快速、微调升降功能

◆ 可搭配多种类型显微镜

◆ 晶片测试、光电器件测试、PCB/IC测试、射频测试、高压大电流测试等

◆ 结构模块化设计,可无缝升级

◆ 探针台可根据客户要求定制。

技术指标

• 总重约 150千克

• 尺寸: 926mmW*700mmD*700mmH

•  8" 卡盘,采用中心吸附孔和多圈吸附环固定样品,均独立控制,中心吸附孔*小可以选择250微米

• 卡盘平整度: 5µm, 标准卡盘可360度无间隙旋转

•  卡盘X/Y轴无间隙移动,大手柄旋转控制,行程:8英寸X 8英寸,移动精度:1um,并带锁死装置

•  可调节显微镜在 X-Y 平面2" x 2" 范围内移动,精度1微米(系统不包含显微镜)

•  可调节显微镜快速倾仰,便于更换物镜,带自动锁定功能(可选显微镜气动升降功能)

• 平台快速升降行程 6mm并带自动锁定功能

• 平台上下微调行程25mm,升降精度1um

• 平台可升降调节适合加装探针卡,便于针卡重定位

• 台体不含显微镜


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