探针台
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探针台CH-12
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特点/应用
◆ *大可用于12英寸以内样品测试
◆ 同轴丝杠传动结构，线性移动
◆ 大手柄驱动，操作舒适，无回程差设计
◆ 针座平台快速、微调升降功能
◆ 可搭配多种类型显微镜
◆ 晶片测试、光电器件测试、PCB/IC测试、射频测试、高压大电流测试等
◆ 结构模块化设计，可无缝升级
◆ 探针台可根据客户要求定制
技术指标
• 总重约 150千克
• 尺寸: 926mmW*700mmD*700mmH
• 12" 卡盘，采用中心吸附孔和多圈吸附环固定样品，均独立控制，中心吸附孔*小可以选择250微米
• 卡盘平整度: 5µm, 标准卡盘可360度无间隙旋转
• 卡盘X/Y轴无间隙移动，大手柄旋转控制，行程：12英寸X 12英寸，移动精度：1um，并带锁死装置
• Y轴可快速抽拉，方便取放样品
• 平台带气浮型快移功能，可快速定位
• 可调节显微镜在 X-Y 平面2" x 2" 范围内移动,精度1微米（系统不包含显微镜）
• 显微镜一键气动升降，可快速进行物镜切换
• 平台快速升降行程 6mm并带自动锁定功能
• 平台上下微调行程25mm，升降精度1um
• 平台可升降调节适合加装探针卡，便于针卡重定位
• 台体不含显微镜，显示器
订购：探针台CH-12
