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探针台

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非真空高低温探针台CT-8

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特点/应用

◆ *大可用于12英寸以内样品测试

◆ 采用密闭腔结构,屏蔽外部电信干扰同时保持氮气正压环境下样品在低温时无结霜

◆ 优化的腔体保温结构可以极大的减少液氮消耗量

◆ 可升降调节适合加装探针卡

◆ 可搭配多种类型显微镜

◆ 结构模块化设计,可无缝升级

◆ 探针台可根据客户要求定制。

技术指标

•    6" 卡盘,平整度5um,采用中心吸附孔和多圈吸附环固定样品,可用于测试6寸,4寸及以下wafer或芯片,3圈均独立控制,中心吸附孔*小可以选择250微米

•  U型针座放置平台微调升降25mm,精度1um,手轮调节

•  卡盘台X/Y方向的行程是:6英寸*6英寸,精度:10micron,均带锁死旋钮

•  显微镜调节系统采用龙门结构式,双丝杆导轨驱动,X-Y行程是:2英寸*2英寸,移动精度为:1微米

•  快速倾仰结构,便于切换物镜,自带锁定(可选显微镜气动升降功能)

• 可升降调节适合加装探针卡

• 增大型U型台面,可以同时容纳10个探针座

• 采用密闭腔结构,屏蔽外部电信干扰同时保持氮气正压环境下样品在低温时无结霜

• 优化的腔体保温结构可以极大的减少液氮消耗量

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