高低温真空探针台CGO-4-N-北京神州新元科技有限公司

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高低温真空探针台CGO-4-N

特点/应用

◆ 2至6英寸样品台

◆ 高真空腔体

◆ 防辐射屏设计，样品温度均匀性更好

◆ 77K-675K高低温环境

◆ 兼容IV/CV/RF测试

◆ 外置多探针臂，移动行程大

◆ 经济实用，可无缝升级

技术指标

· 总重约200KG

· 尺寸:950mmW×800mmD×600mmH

· 直径为8英寸的真空腔体，带高红外透射率，高可见光透射观察窗

· 直径为4英寸大小的样品台,平整度5微米

· 4个探针臂接口，*多可做6个

· 一个KF40真空抽气口，一个快速破真空进气口

· 同轴制冷剂入口，能够提高使用冷剂效率

· 制冷剂回流冷却辐射屏回路

· KF法兰接口，系统极限真空优于10^-5Torr（配分子泵时）；系统极限真空优于10^-3Torr（配机械泵时）

· 漏率优于：1*10^-10Pa.M3/s

· 常温降温至80K的时间优于：30mins

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